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ALD安装条件

作者:北京正通远恒科技有限公司阅读量: 分享到:
1.气路要求 
1.1连接和管路 
1.2气体规格 
2.连接泵的气体管路和尾气要求 
2.1反应腔(连接腔体和泵) 
2.2反应柜接出 
2.3电控柜接出 
2.4气柜接出
2.5真空泵接出 
2.6臭氧燃烧接出 
3. ALD电路要求 
3.1有综合电控的仪器系统(R-200 Basic) 
3.2有独立电控柜的仪器系统(P-300 R-200 Advanced) 
4.真空泵技术参数 
5.臭氧发生器技术参数 
6.等离子体发生器技术参数 
7.石英晶体微天平技术参数 
8. 化学源瓶 


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