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Magma EFI

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品牌:Neocera
产地:美国

型号:Magma EFI 



Magma磁场成像显微镜系统(简称Magma)是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套传感器和技术,可以检测和定位静态缺陷

Magma具有极大的可靠性,适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外,磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息,甚至可以用于多层器件

在半导体失效分析领域,Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷(短路、漏电和开路)。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、封装的PC板、以及所有类型的封装器件,包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。

新型平台的设计使用了终端用户的输入,以提供用户友好型的设置和操作,以及更高的工作量和更低的运营成本。

基础配置:配备高灵敏度的SQUID传感器,用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位,用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。

 EFI工具:能够以极高的精确度检测失效的开路故障。

 HiRes工具:将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时,SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流,磁阻传感器用于获得较好的空间分辨率。因此,其具有两方面的优点:空间定位和灵敏度。


 特点

详情

SQUID 传感器

短路缺陷定位  (SQUID)

3um

空间分辨率 (SQUID)

2um

总扫描面积 (SQUID)

At least 100mm by   100mm

当前灵敏度 (SQUID)

·  500nA @ 333um

·  1.5uA @ 1000um

磁敏感性 (SQUID)

15 pT/√Hz Typical

成像深度(SQUID)

10mm

工作频率 (SQUID)

DC to 25kHz

Opens 断路

断路缺陷定位 (SDR)

30um

成像深度 (Opens)

<500um

工作频率 (Opens)

20MHz to 200MHz

其他参数

功能发电机

±10V @ 100mA

功能发电机频率

DC to 200kHz

镜头分辨率

2um (in NIR or   Visible)

电源

·  110 - 120V @   20A

·  220 - 240V@ 10A

操作系统

Windows 10 64-bit


1、该仪器可以完整的包检测静态缺陷(短路,泄漏,高电阻断路)或PC板水平(模具水平缺陷)。EFI系统扩展了SSM系统的功能,增加了一种SDR技术。这种技术使用设备内部的射频(RF)驻波来定位从PC板到堆叠设备和多芯片模块的设备中的缺陷。

2、Magma EFI还具备了Magma SSM工具的功能。Magma EFI工具利用一种超导量子干涉装置(SQUID)来检测只需要纳安培电流的设备中的电流。这些电流被组合成一幅图像,可与光学基准和设计数据一起用于定位三维静态缺陷。

3、这种成像是无损的。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透,所以不需要对设备进行任何方式的反处理就可以开始定位故障。此外,使用电流可以保护被测设备免受进一步的损坏,并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的选择。可以用EFI工具分析的典型故障包括短路、泄漏、电阻断路。该系统可用于成像交流和直流磁场(同样,电流)取决于设备的要求。


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