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Magma EFI HiRes

作者:北京正通远恒科技有限公司
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名称:磁场成像显微镜

品牌:Neocera

产地:美国

型号:Magma EFI HiRes


Magma磁场成像显微镜系统(简称Magma)是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套传感器和技术,可以检测和定位静态缺陷。

Magma具有极大的可靠性,适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外,磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息,甚至可以用于多层器件。

在半导体失效分析领域,Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷(短路、漏电和开路)。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、封装的PC板、以及所有类型的封装器件,包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。

新型平台的设计使用了终端用户的输入,以提供用户友好型的设置和操作,以及更高的工作量和更低的运营成本。

基础配置:配备高灵敏度的SQUID传感器,用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位,用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。

 EFI工具:能够以极高的精确度检测失效的开路故障。

 HiRes工具:将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时,SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流,磁阻传感器用于获得较好的空间分辨率。因此,其具有两方面的优点:空间定位和灵敏度。



特点

 详情

SQUID 传感器

短路缺陷定位(SQUID)

3um

空间分辨率 (SQUID)

2um

总扫描面积 (SQUID)

至\少 100mm by 100mm

当前灵敏度 (SQUID)

·  500nA @ 333um

·  1.5uA @ 1000um

磁敏感性 (SQUID)

15 pT/√Hz Typical

成像深度 (SQUID)

10mm

工作频率 (SQUID)

DC to 25kHz

HiRes 传感器

短路缺陷定位  (HiRes)

250nm

空间分辨率 (HiRes)

500nm

总扫描面积 (HiRes)

At least 100mm by   100mm

当前灵敏度 (HiRes)

·  5uA @ 2um

·  100uA @ 100um

磁敏感性 (HiRes)

10nT/√Hz Typical

工作频率 (HiRes)

10kHz to 200kHz

成像深度 (HiRes)

<100um

Opens断路

断路缺陷定位 (SDR)

30um

成像深度 (Opens)

<500um

工作频率 (Opens)

20MHz to 200MHz

其他参数

功能发电机

±10V @ 100mA

功能发电机频率

DC to 200kHz

镜头分辨率

2um (in NIR or   Visible)

电源

·  110 - 120V @   20A

·  220 - 240V@ 10A

操作系统

Windows 10 64-bit


该仪器是检测模具、封装或PC板水平上所有类型静态缺陷(短路、泄漏、高电阻开启和断路开启)的很好的工具。该仪器结合了两个传感器的功能,实现了很好的灵敏度和亚微米的分辨率的统一。这允许单个系统可以处理静态缺陷。
1.解决了静态缺陷:短路、泄漏和断路。
2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离,当直流电迹可用时,新的软件能够在三维重建当前路径。
3.由于磁场渗透材料,SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。
4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制,只受传感器尺寸和扫描距离的限制。
5.在500nA电流灵敏度下,可以发现ω电阻的泄漏。
6.使用SDR技术,在检测电流产生的射频磁场时,应用高频信号(20MHz至200MHz),可以发现故障。

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