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Nanoprobing. Low current measurements in SEM

作者：北京正通远恒科技有限公司
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纳米探测平台是一种独特的解决方案，它将mibot纳米机械手转变为强大的纳米探针，用于扫描电镜中半导体器件和先进材料的原位电特性表征。精心设计以尽量减少对测量信号的干扰，泄漏电流可低至100 fa/v。屏蔽电缆将每个探头从舞台连接到行业标准的引线连接器。这个平台允许您在几个毫米的工作空间上独立放置多达4个探针，分辨率高达纳米。最后但并非最不重要的是，舞台紧凑的设计使得这种解决方案甚至对那些显微镜有一个小真空室的人来说也是可行的。
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