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| 衬底尺寸和类型 | 50 – 200 mm /单片 156 mm x 156 mm 太阳能硅片 150 mm x 150 mm 显示面板 |
| 工艺温度 | 50 - 500 °C , 可选更高温度 |
| 基片传送选件 | 气动升降（手动装载） 半自动装载，用PICOPLATFORM™200集群系统实现 25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系统实现 |
| 标准 | SEMI S2 认证（认证中） |
| 前驱体 | 液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体（最多4路气体）： 前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 6根独立源管线，最多加载12个前驱体源（加上Plasma管路，共7根独立源管线） |
| 重量 | 790 kg |
| 尺寸 (W x H x D) | 160 cm x 80 cm x 240 cm |
| 可选件 | 集群工具, PICOFLOW™ 扩散增强器, 集成椭偏仪, QCM, RGA, N2发生器，尾气处理器，定制设计，与 工厂软件连接服务。 |
| 验收标准 | 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺， 其他工艺可具体协商：其他工艺、应用具体验收标准如： --不均匀性 --颗粒物含量 --重金属污染 --电学性能 |