衬底尺寸和类型 | 50 – 200 mm /单片 156 mm x 156 mm 太阳能硅片 150 mm x 150 mm 显示面板 |
工艺温度 | 50 - 500 °C , 可选更高温度 |
基片传送选件 | 气动升降(手动装载) 半自动装载,用PICOPLATFORM™200集群系统实现 25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™200集群系统实现 |
标准 | SEMI S2 认证(认证中) |
前驱体 | 液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体(最多4路气体): 前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务 6根独立源管线,最多加载12个前驱体源(加上Plasma管路,共7根独立源管线) |
重量 | 790 kg |
尺寸 (W x H x D) | 160 cm x 80 cm x 240 cm |
可选件 | 集群工具, PICOFLOW™ 扩散增强器, 集成椭偏仪, QCM, RGA, N2发生器,尾气处理器,定制设计,与 工厂软件连接服务。 |
验收标准 | 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺, 其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如: --不均匀性 --颗粒物含量 --重金属污染 --电学性能 |