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ALD操作指南

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1. 介绍 
2. 安全问题 
3. 仪器详细介绍 
4.操作人员-仪器-操作界面 
4.1启动 
4.2 HIM综述 
4.3基本系统设置(SETTINGS) 
4.4沉积设置(RECIPE) 
4.5沉积工艺控制(DEPOSIT) 
4.6中等权限人工操作(ACTIONS) 
4.7低权限人工操作(MANUAL) 
4.8控制状态模块 

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