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ALD用户培训

作者:北京正通远恒科技有限公司阅读量: 分享到:
第一部分:安全防护培训
仪器报警及紧急停止操作
机械伤害及防护
电击伤害及防护
化学物品伤害及防护
高温伤害及防护
第二部分:硬件介绍
载气系统介绍
各类前驱体系统介绍
反应腔介绍
真空系统介绍
自动(手动)进样系统介绍
如何沉积薄膜
第三部分:软件操作培训
PI-Chart界面详解
Setting界面详解
Recipe界面详解
Deposit界面详解
Handyman界面详解
Actions界面详解
Mannual界面详解
Trend界面详解
Alarms界面详解
第四部分:设备维护
真空腔内部构造以及热电偶更换
反应腔拆卸,清洗,钝化操作
抽气管路的定期清洁
液态源管路更换以及清洗
固态源管路更换以及清洗
臭氧管路清洁
等离子体发生器定期维护
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